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萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的無塵室，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現.。
1、塵粒允許數(每立方米):大于或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個；大于或等于5微米的粒子數不得超過2000個。
2、微生物允許數:浮游菌數每立方米不得超過100個；沉降菌數每培養皿不得超過3個。
1、氣流速度及其均勻度檢測。這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
2、系統或房間的風量檢測。
3、室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。
4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。
5、氣流流型檢測。
6、噪聲的檢測。
7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。
10、總風量和新風量的檢測。
1、塵粒和微生物
每立方米的塵粒最大允許數：≤2500；≥0.5微米的粒子數不得超過350000個，≥5微米的粒子數不得超過2000個；微生物最大允許數：每立方米的浮游菌數不得超過100個；每個培養皿的沉隆菌數不得超過3個。
2、壓差
潔凈度等級相同的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要大于或等于5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要大于或等于10Pa。
3、溫度、濕度
當萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生不舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；上下波動2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%RH，夏季潔凈室濕度控制在50-70%RH。
4、配電
潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜大于或等于300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
5、噪聲控制
動態測試時，萬級潔凈室內的噪聲級≤70分貝A。靜態測試時，萬級亂流潔凈室的噪聲級≤60分貝A。
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