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光學微電子潔凈車間裝修凈化工程解決方案

發布日期:2023-03-15 11:40:17發布者:上海榮欽建筑裝飾工程 點擊:0
  

  光學微電子無塵車間裝修解決方案

  光學微電子潔凈車間有稱光學微電子無塵室或光學微電子潔凈室,是半導體、精密電子元件、液晶制造、光學儀器制造、線路板制造和手機、計算機等行業不可或缺的重要設施。在凈化車間裝修設計中,應加強對光學微電子行業凈化車間設計方案分析了解,根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況,同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化車間設計方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。

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  一、光學微電子無塵車間裝修工程特點

  潔凈度:

  一般光學微電子生產工序簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

  光學微電子無塵車間指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。

  室內空氣參數要求 :

  (1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。

  (2)新風量大。由于這類車間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。

  (3)送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數,是≥15次/h)。

  二、光學微電子凈化車間裝修工程一般包括:

  1、 潔凈生產區

  2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室

  3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)

  4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)

  三、光學微電子凈化工程凈化原理:

  氣流→初效空氣過濾器凈化→空調→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→高效空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效空氣過濾器凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。

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  四、光學微電子凈化工程凈化參數:

  換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

  平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。

  溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。

  噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

  五、光學微電子凈化車間裝修的三種凈化設計方案對比:

  方案一:組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

  這是一個最傳統的凈化車間設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

  優點:

 ?、?空氣處理效果好,因空氣經過集中處理,在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;

 ?、?比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;

 ?、?空調冷熱源可與廠房普通空調系統合用或獨立冷熱源;

 ?、?維修頻率較低;

  ⑤.車間的噪音低。

  缺點:

 ?、?此凈化車間設計方案需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30平方的空調機房的。

  ②.造價高。

  特點:

 ?、?建議新風經過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;

  ②.這類凈化車間設計方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化車間廠房。

  方案二:水冷柜機+增壓風柜+高效送風口

  與前種方案比較,這是相對比較簡單的凈化車間設計方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據具體的情況布置于較小機房內或凈化車間內,增壓風柜也可以布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。

  優點:

 ?、?空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制。

 ?、?布置靈活。自帶冷源。

  ③.大小廠房、新舊廠房都適用。

 ?、?維修頻率較低。

 ?、?車間噪音低。

  缺點:

  ①.此凈化車間設計方案需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置。

 ?、?空調機組與空調處理機組要集中布置。

  特點:

  這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據凈化車間的大小情況而定;這類凈化車間設計方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化車間廠房。

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  方案三:分體空調柜機++FFU送風口

  這是最簡易的一個凈化車間設計方案。是直接將分體空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內溫濕度精度要求不高的凈化車間。

  優點:

  ①.不需要占用機房面積,布置很靈活的;

 ?、?可以滿足空氣的潔凈度;

  ③.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;

 ?、?送風均勻度好。

  缺點:

 ?、?溫濕度控制較差;

 ?、?FFU的維修頻率高。

  綜合可見:對于常規電子廠房潔凈室空調的設計,應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產工藝的要求作為前提。根據以往經驗,對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的,又要初投資低的,可以選用柜機+FFU??傊?,具體的方案選擇根據具體情況而定。凈化車間的設計應全面考慮,最終制定一個雙方都滿意的方案。


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